韓國設(shè)備廠商Auros Technology宣布成功開創(chuàng)了針對(duì)8英寸晶圓的套殼對(duì)準(zhǔn)測量設(shè)備,并已獲得多家集成電路設(shè)計(jì)公司的訂單,標(biāo)志著該公司在半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域取得了突破性進(jìn)展。
隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)向更先進(jìn)制程與更高集成度發(fā)展,晶圓制造過程中的對(duì)準(zhǔn)與測量精度變得至關(guān)重要。Auros Technology此次推出的設(shè)備專為8英寸晶圓設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的套殼對(duì)準(zhǔn)測量,確保在光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝中圖案的精確轉(zhuǎn)移,從而大幅提升芯片的良率與性能。
據(jù)悉,該設(shè)備采用了創(chuàng)新的光學(xué)傳感技術(shù)與智能算法,不僅測量速度快、精度高,而且具備良好的兼容性與穩(wěn)定性,能夠適應(yīng)多種復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境。其成功研發(fā)填補(bǔ)了市場上8英寸晶圓專用高端測量設(shè)備的部分空白,尤其為專注于模擬、功率器件等領(lǐng)域的8英寸晶圓廠提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。
目前,Auros Technology已與多家國內(nèi)外知名的集成電路設(shè)計(jì)公司簽訂訂單,這些公司涵蓋消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)控制等多個(gè)高增長領(lǐng)域。訂單的獲取不僅驗(yàn)證了該設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性與市場認(rèn)可度,也為Auros Technology的后續(xù)研發(fā)與市場擴(kuò)張奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
行業(yè)專家指出,在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化與國際競爭加劇的雙重背景下,Auros Technology的此次創(chuàng)新展示了韓國企業(yè)在細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累。該設(shè)備的推廣應(yīng)用,有望助力下游集成電路設(shè)計(jì)公司更高效地實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品從設(shè)計(jì)到制造的轉(zhuǎn)化,加速芯片的迭代與創(chuàng)新。
Auros Technology表示將繼續(xù)加大研發(fā)投入,拓展產(chǎn)品線至12英寸晶圓及其他先進(jìn)工藝設(shè)備,并與全球合作伙伴緊密協(xié)作,共同推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)的進(jìn)步。此次8英寸晶圓套殼對(duì)準(zhǔn)測量設(shè)備的成功商業(yè)化,無疑為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)健發(fā)展注入了新的活力。